產品詳情
Femto系列飛秒激光器是Huaray自主研發生產的穩定可靠的超快激光器產品，是GJ重點研發計劃專項研發成果。采用全光纖放大結構，光、電一體化設計，脈寬小于350 fs，支持10μJ/50μJ/200μJ/400μJ。選配SHG模塊，可支持517nm，紅外/綠光雙波段輸出。該產品可廣泛應用于半導體晶圓加工、陶瓷與聚合物加工、金剛石加工、新能源材料加工、難加工金屬加工、高分子材料加工與處理等領域。也可用于：生物光子學和光遺傳學、多光子顯微成像、雙光子聚合、太赫茲應用、超快光譜學、超快激光放大等科研領域。
產品特點：
脈寬小于 350 fs，支持更多脈寬選擇
單脈沖能量高達 200 μJ
支持多種 Burst Mode 組合
包含脈沖選擇器，用于按需脈沖分頻
堅固耐用的工業化一體設計
可選裝 SHG 模塊以支持綠光輸出
加工領域：
半導體晶圓加工
陶瓷與聚合物加工
金剛石加工
新能源材料加工
難加工金屬加工
高分子材料加工與處理
硬脆性材料切割、鉆孔、焊接
金屬材料微、高分子材料加工
復合薄膜材料加工
新能源材料加工
醫療器械制造
光纖光柵刻寫加工
科研領域：
微納米結構加工
生物光子學和光遺傳學
多光子顯微成像
雙光子聚合
太赫茲應用
超快光譜學
超快激光放大
參數指標：
產品特點：
脈寬小于 350 fs，支持更多脈寬選擇
單脈沖能量高達 200 μJ
支持多種 Burst Mode 組合
包含脈沖選擇器，用于按需脈沖分頻
堅固耐用的工業化一體設計
可選裝 SHG 模塊以支持綠光輸出
加工領域：
半導體晶圓加工
陶瓷與聚合物加工
金剛石加工
新能源材料加工
難加工金屬加工
高分子材料加工與處理
硬脆性材料切割、鉆孔、焊接
金屬材料微、高分子材料加工
復合薄膜材料加工
新能源材料加工
醫療器械制造
光纖光柵刻寫加工
科研領域：
微納米結構加工
生物光子學和光遺傳學
多光子顯微成像
雙光子聚合
太赫茲應用
超快光譜學
超快激光放大
參數指標：
| 波長 | 脈寬 | 功率 | 頻率范圍 | 單脈沖能量 | 脈沖串能量 |
| 1035 nm | <300 fs to 10 ps | 10 W | Single Shot to 1 MHz | 10 μJ @ 1 MHz | ~ |
| 517 nm | <300 fs to 10 ps | 4 W | Single Shot to 1 MHz | 4 μJ @ 1 MHz | / |
| 1035 nm | <500 fs | 10 W | Single Shot to 1 MHz | 10 μJ @ 1 MHz | ~ |
| 1035 nm | <350 fs to 10 ps | 40 W | Single Shot to 800 kHz | 50 μJ @ 800 kHz | 200 μJ (800 kHz,4 Burst) |
| 517 nm | <350 fs to 10 ps | 15 W | Single Shot to 800 kHz | 20 μJ @ 800 kHz | / |
| 1035 nm | <350 fs to 10 ps | 40 W | Single Shot to 200 kHz | 200 μJ @ 200 kHz | / |
| 517 nm | <350 fs to 10 ps | 15 W | Single Shot to 200 kHz | 75 μJ @ 200 kHz | / |
| 1035 nm | <350 fs to 10 ps | 60 W | Single Shot to 750 kHz | 80 μJ @ 750 kHz | 320 μJ |
| 517 nm | <350 fs to 10 ps | 20 W | Single Shot to 750 kHz | 30 μJ @ 200 kHz | / |
| 1035 nm | <350 fs to 10 ps | 60 W | Single Shot to 150 kHz | 400 μJ @ 150 kHz | 1 mJ |
| 517 nm | <350 fs to 10 ps | 30 W | Single Shot to 150 kHz | 200 μJ @ 150 kHz | ~ |
