產品詳情
MLI準分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型,500 =重復率; KrF = 波長 248 nm;
MLase MLI-200 / 500 / 1000 主要特征:
剛性設計電暈預電離
固態電路
管技術
能量監視器 RoHS,CECDRH 合規
緊湊型準分子激光單相
MLase MLI-200 / 500 / 1000 優勢:
高可靠性
均勻的光束輪廓
即時可用,不老化
管子全金屬密封
數十億個脈沖的延長壽命
能量穩定
滿足主要政府法規
易于操作易于集成
占空比 20%(1000Hz)
占空比30%(500Hz)10min on 20min off
占空比(200Hz)

MLase MLI-200 / 500 / 1000 數據:
范圍 規格
范圍 ArF ArF ArF ArF ArF ArF
波長(nm) 193 193 193 248 248 248
重復率(Hz) 200 500 1000 200 500 1000
穩定脈沖能量(mJ) 6 6 6 10 10 10
穩定脈沖功率(W) 1.2 3 6 2 5 10
能量穩定性(sigma%) 2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,Vx Hmm) 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3 6*3
光束發散度(FWHM,Vx H mrad) 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1 2*1
脈沖持續時間(FWHM)(ns) 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10 5-10
MLI準分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型,500 =重復率; KrF = 波長 248 nm;
MLase MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光器適用于高校研究實驗