UV光氧等離子一體機是由等離子電場模塊和uv光氧燈管和二氧化鈦催化網共同結合的一種設備，等離子電場一般在的位置，uv光氧燈管和二氧化鈦催化網在等離子電場的后面。

UV光氧等離子一體機是由以下15個配置構成的：1、箱體；2、進出風口；3、門鎖；4、配電箱；5、支架；6、指示燈；7、電源開關；8、漏油換氣口；9、電源線；10、過濾網；11、高壓電解模塊；12、高頻絕緣陶瓷；13、uv紫外線燈管；14、二氧化鈦板；15、鎮流器。

UV光氧等離子一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，后段主要處理voc廢氣的氣味。

等離子區工作原理：當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。（在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。）

光氧催化區工作原理：通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化,可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，催化氧化作用。在分解過程中產生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化,裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺的目的。

對于等離子光氧一體機的應用也比較廣泛，主要運用在造紙業、制藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機對部分行業的凈化效率在左右，是目前市場上的廢氣凈化設備。