產品詳情
OLED有機小分子提純升華儀
1、加熱元件：進口KTL電阻絲,整個爐膛均勻布滿20根加熱絲，隔熱層距離石英管外壁
的距離為15mm，每個溫區之間的隔熱層厚度為15mm，高10mm。
2、加熱區數量：N區N*2點獨立控溫，溫度探頭分布于溫區中心的上下端，使溫場更均
勻。法蘭為水冷法蘭，且與殼體連接方式采用滑軌連接，方便拆卸和更換石英管。
4、升華區溫度：室溫至800℃，連續可調；
保溫區溫度：室溫至400℃可調；恒溫溫度隨時間和空間波動不大于±1℃(測試方法
符合國家計量標準JJF 1184-2007)。
5、控溫方式：人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業
智能控溫儀表和軟件實現雙控，采用模糊型PID控制。
6、無紙記錄：內置存儲記錄運行工藝數據，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數
據。
7、結構描述：①設備可電動開啟，每個溫區配備一個風扇，加快冷卻速度.②在進料
端配備高精度質量流量計500sccm（氮氣），準確控制氣體流量，可以實現生產工藝拓
展和調整。③系統采用自動化工藝流程，設定好工藝一鍵操作。工藝重復性高。
產品特點具體描述
8、過濾方式：系統采用三級過濾保護裝置，分別采用5級微孔金屬濾網、
液氮內嵌式冷凝（液氮冷阱經特殊設計，通過兩根連接軟管實現注液和排
氣），液氮冷阱可增加液氮利用率，增加管內氣流的的流導性。
9、腔體采用多層石英管裝置，進出料方便，真空室管不受污染，保持較高
的真空度。中層管取料方便，易于清洗，內層料管分段升華后各段料容易
區分，能最大限度的保證產品和純度和產率。（內管選配）
10、腔體采用管外控溫，防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現象。
11、設備的端面都采用石英密封觀察窗，可以全方位無死角觀察生產中材
料的提純情況，配上攝像系統可實現生產升華過程全監控和記錄。（可選
配）
12、抽真空端采用了主管直徑250mm的分子泵直連，確保實驗中高真空的需
求，在直徑210mm直管中間加插板閥，插板閥的兩端加直徑16mm細管旁抽支
路，防止在初真空時抽速太大影響分子擴散的方向，導致材料不均勻。
