產品詳情
智能變頻+全干式設計：愛發科真空泵讓CVD工藝能耗直降30%
CVD工藝的能耗痛點與行業轉型需求
化學氣相沉積（CVD）是半導體制造的核心工藝之一，但其真空系統能耗通常占整條產線總功耗的 20%-30%（數據來源：IEEE 2023）。隨著晶圓廠擴產與ESG要求升級，傳統油潤滑真空泵的高能耗、高維護成本成為瓶頸。愛發科通過 智能變頻技術與 全干式無油設計 的融合創新，助力客戶實現 能耗直降30% 的突破性目標。CVD工藝真空系統的三大能耗黑洞
1. 無效空載運行
傳統真空泵在工藝間隙（如腔體冷卻、晶圓更換）仍保持滿負荷運轉，造成 40%以上電能浪費。
2. 油潤滑系統損耗
油霧過濾器、潤滑油更換等維護消耗額外能源，單臺設備年維護成本超 1.8萬美元。
3.熱量管理負擔
油泵摩擦生熱需額外冷卻系統，間接增加 15%-20%綜合能耗。
愛發科雙技術協同：智能變頻+全干式設計
1. 智能變頻技術：按需供能，拒絕浪費
- 技術原理：
搭載AI算法芯片實時監測腔體壓力、氣體流量及工藝階段，自動調節電機轉速（0-100%無級變速）。
- 沉積階段：滿負荷抽速（2000 L/s）確保反應氣體高效排出。
- 待機階段：轉速降至15%，功耗僅為滿載的 5%。
- 實測數據：
2. 全干式設計：徹底消滅“寄生能耗”
運行模式
傳統定頻泵能耗
愛發科變頻泵能耗
節能比例
沉積階段
18 kW
18 kW
0%
待機/過渡階段
16 kW
0.9 kW
94%
綜合能耗
34 kW
18.9 kW
44%
- 采用 陶瓷軸承+自潤滑涂層，摩擦系數降低至傳統油潤滑的 1/8。
- 消除油霧過濾器風阻損耗，減少 7% 額外功耗。
-耐高溫模塊化結構：
- 泵體表面氮化硅涂層 耐受CVD工藝高溫（≤350℃），減少冷卻水用量 30%。
- 模塊化設計縮短維護時間，降低人工干預頻率（維護周期延長至 24個月）。
能效提升30%的客戶實證
案例：某8英寸功率半導體晶圓廠
- 原設備痛點：
- 12臺傳統油泵年耗電 286萬度，占總電費24%。
- 每月需更換油霧過濾器，單臺年維護成本 2.2萬美元。
- 愛發科解決方案：
- 替換為 iDRY系列智能變頻干式泵，配置AI能效管理平臺。
- 優化真空系統啟停邏輯，與CVD設備PLC聯動控制。
-成果對比：
指標
改造前
改造后
降幅
單臺年均耗電量
23.8萬度
16.7萬度
30%
年維護成本（12臺）
26.4萬美元
1.2萬美元
95%
設備綜合效率（OEE）
82%
89%
+7%
1. 0污染風險：
無油蒸氣反流，腔體碳氫化合物濃度 ＜0.1ppm，滿足高純度氮化硅/碳化硅沉積要求。
2. 靜音運行：
噪音≤62 dB(A)，符合ISO 4871無塵車間標準，改善工人操作環境。
3. 快速響應擴展：
支持300mm→450mm晶圓產線升級，抽速可擴展至5000 L/s。
行業前瞻：從節能到可持續制造
愛發科正推進 綠電兼容型真空泵 研發：
- 氫能源驅動：適配晶圓廠綠氫供能系統，碳排放趨近于零。
-余熱回收模塊：將泵體廢熱轉換為純水預熱能源，綜合能效再提 8%-10%。
供應ULVAC愛發科系列真空泵：
1、VD油旋片式真空泵【雙極旋片真空泵】
VDN301 VDN401 VDN602 VDN902
2、GLD油旋片式真空泵【雙極旋片真空泵】
GLD-N051 GLD-N136 GLD-N201 GLD-N280
3、VS油旋片式真空泵系列【單級旋片真空泵】
VSN1501 VSN2401 VSN6501 VSN7501
4、PVD油旋片式真空泵【單級旋片真空泵】
PVD-N360 PVD-N360-1 PVD-N180 PVD-N180-1
